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熱處理退火爐內氣氛的影響機理

2020-02-03

目前,高端零部件對爐內氣氛的要求很高,一般要求殘氧量在10ppm以下露點在-40度以下。爐內氣氛的好壞在很大程度上取決於爐子本身的氣密性。通常在熱處理爐安裝結束後,要對爐殼的氣密性做打壓試驗,以確保爐子的氣密性。但在以後的生產過程中,由於熱脹冷縮,爐體鋼結構振動、檢修拆裝設備、密封件損壞、設備損壞等因素會導致爐殼出現局部泄漏。如果這些漏點沒有被及時發現和有效封堵,就會導致熱處理爐氣密性變差,使爐內的殘氧量升高,最終影響產品表麵質量。


退火爐


熱處理退火爐內氣氛的影響機理

退火爐內的保護氣體由氮氣和氫氣按照一定比例混合而成,起著還原零部件和防止氧化的作用,其主要參數指標有氫氣比例露點、殘氧量等。


殘氧量的影響

1)能在低溫區富集,可能會在條件適宜時與氫氣發生劇烈反應;

2)對零部件表麵形成選擇性氧化,形成色差等;

3)對爐內耐火材料產生氧化損害,縮短材料的使用周期。


改善退火爐內氣氛的方法

1)建立退火爐氣密性檢查製度

2)確定氣密性檢查的重點部位

3)確定檢測時間、頻率、責任和確認人


退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業爐,超節能結構,采用纖維結構,節電60%。


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